高溫電性能測試變溫探針臺
高溫電性能測試變溫探針臺
產品介紹
探針臺是一種輔助執(zhí)行機構，把需要測量的器件放到探針臺的載物臺上，配合顯微鏡，X-Y移動器件，找到需要探測的位置；通過旋轉探針座上的X-Y-Z的三向旋鈕，控制前部探針（射頻或直流探針），準確扎到被測點，從而使其訊號線與外部測試機導通，通過測試機可以得到所需要的電性能參數
產品參數
臺體參數
水平旋轉：可360°旋轉，可微調15°，精度0.1°，帶角度鎖死裝置
X-Y移動行程：4英寸*4英寸（卡盤X-Y軸無間隙移動）
X-Y移動精度：1μm
樣品固定：不低于4″卡盤，采用中間吸附孔和多圈吸附環(huán)固定樣品，均單獨控制，中間吸附孔下限可以選擇250微米
針座平臺：U型針座平臺，可同時容納2~4個CB-100探針座同時點測；帶有鎖定旋鈕夾盤，可以附加單獨的校準片載臺
樣品臺調節(jié)：平臺可升降調節(jié)適合加裝探針卡，便于針卡重定位
顯微鏡參數
顯微鏡環(huán)繞立柱旋轉式設計，便于快速移動顯微鏡，顯微鏡移動范圍覆蓋樣品臺；卡盤可做電極引出信號進行雙面測試。
總放大倍率：16倍~100倍
變焦：0.8倍~5倍
CCD：帶CCD接口和0.4XC-mount；下限分辨率至2μm
鏡座：雙目觀察傾斜45°，雙瞳距調節(jié)范圍：52~75mm，傾斜360°旋轉
X,Y,Z軸方向調節(jié)范圍：＞50.8mm，調節(jié)精度小于2μm
工作距離：115mm，加裝2倍輔助鏡工作距離40mm
光源：帶外置LED高亮無極調節(jié)亮度環(huán)形光源
溫控參數
溫度范圍：室溫~400℃
分辨率：0.1℃
控溫精度：0.1℃
溫度穩(wěn)定性：±1℃
