半導(dǎo)體用PRA高溫真空晶圓退火爐

產(chǎn)品介紹

真空晶圓退火爐是在真空環(huán)境下，對半導(dǎo)體晶圓進(jìn)行高溫?zé)崽幚淼脑O(shè)備，主要用于消除應(yīng)力、優(yōu)化材料結(jié)構(gòu)、增加電學(xué)性能。華測儀器經(jīng)過多年研發(fā)，推出了采用高準(zhǔn)度、高反射率拋物面搭配高性能加熱源的解決方案，在升降溫過程中仍能保持穩(wěn)定均勻的溫度場，可實(shí)現(xiàn)寬范圍均熱區(qū)、高速加熱與高速降溫。樣品由石英管保護(hù)，無氣氛污染，更適合半導(dǎo)體工藝使用

設(shè)備的反射鏡采用高準(zhǔn)度曲率設(shè)計(jì)，通過五軸加工系統(tǒng)制造，以維持更高的反射效率。反射鏡主要分為圓形和拋物線型兩種，可滿足不同材料在不同溫度控制條件下的測試需求

產(chǎn)品參數(shù)

產(chǎn)品型號：Huace-800G/Huace-1200G/Huace-1450G

產(chǎn)品尺寸：6寸晶圓或150 x 150mm產(chǎn)品

溫度范圍：RT ~ 800/1200/1450°C

升溫速度：＜100℃/s可編程（此溫度不含載盤的升溫速度）

＜25℃/s（SiC載盤）

溫度均勻度：±5 °C （≤ 500 ℃） 

±1 % （> 500 ℃）

溫度控制重復(fù)性：±1 °C

溫控方式：PID 溫控

公司簡介

Beijing Hua Ce Testing Instrument Co., Ltd. is a national high-tech enterprise, abbreviated as Hua Ce Instrument.    It is a company engaged in research and development, production and manufacturing.    The company has a functional materials electrical laboratory and an electrical insulation materials electrical laboratory.

The products involve material testing instruments, signal amplification and conditioning, data acquisition and control, comprehensive performance evaluation of sensors, etc.