OSC半導體材料表征晶圓測試探針臺

產品優勢

真空-溫度協同控制

真空系統：分子泵+渦旋泵多級抽氣，30分鐘內實現10^-6 torr級真空度，支持惰性氣體氛圍切換

超寬溫域：液氮制冷與電極加熱復合控溫，控溫穩定性±0.1K。

精細測量能力

抗干擾設計：真空障蔽腔體降低電磁噪聲，支持pA級（皮安級）微弱電流與μΩ級（微歐級）電阻測量

多通道拓展：標配4探針臂（可擴展至6探針臂），支持四線法、射頻探針、光電協同測試

技術參數

材質：不銹鋼/碳鋼

平面度：0.05mm/m2

粗糙度：＜0.8μm

孔距：25×25mm

孔徑：M6

平臺尺寸（長寬）：可定制

平臺厚度：50/100/200mm

支撐腿數量：4只/6只

支撐腿高度：800mm±10mm

其他：內芯采用蜂窩支撐、表面密迪紋處理、支撐腳可選腳輪、特殊尺寸可定制

公司簡介

Beijing Hua Ce Testing Instrument Co., Ltd. is a national high-tech enterprise, abbreviated as Hua Ce Instrument.    It is a company engaged in research and development, production and manufacturing.    The company has a functional materials electrical laboratory and an electrical insulation materials electrical laboratory.

The products involve material testing instruments, signal amplification and conditioning, data acquisition and control, comprehensive performance evaluation of sensors, etc.