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產(chǎn)品詳情

  • 產(chǎn)品名稱：無(wú)氧化原位電學(xué)表征真空探針臺(tái)

  • 產(chǎn)品型號(hào)：HCVP-2
  • 產(chǎn)品廠商：華測(cè)儀器
  • 產(chǎn)品價(jià)格：0
  • 折扣價(jià)格：0
  • 產(chǎn)品文檔：
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簡(jiǎn)單介紹：
高低溫真空探針臺(tái)華測(cè)儀器研發(fā)生產(chǎn)，晶圓測(cè)試高低溫真空探針臺(tái)是一種輔助執(zhí)行機(jī)構(gòu)，測(cè)試人員把需要量測(cè)的器件放到探針臺(tái)載物臺(tái)(chuck)上，在顯微鏡配合下，X-Y移動(dòng)器件，找到需要探測(cè)的位置，接下來(lái)通過(guò)旋轉(zhuǎn)探針座上的X-Y-Z的三向旋鈕，控制前部探針(射頻或直流探針)，準(zhǔn)確扎到被測(cè)點(diǎn)，從而使其訊,號(hào)線與外部測(cè)試機(jī)導(dǎo)通，通過(guò)測(cè)試機(jī)可以得到所需要的電性能參數(shù)
詳情介紹：

無(wú)氧化原位電學(xué)表征真空探針臺(tái)

真空-溫度協(xié)同控制
真空系統(tǒng)：分子泵+渦旋泵多級(jí)抽氣，30分鐘內(nèi)實(shí)現(xiàn)10^-6 torr級(jí)真空度，支持惰性氣體氛圍切換
超寬溫域：液氮制冷與電極加熱復(fù)合控溫，控溫穩(wěn)定性±0.1K。
精細(xì)測(cè)量能力
抗干擾設(shè)計(jì)：真空障蔽腔體降低電磁噪聲，支持pA級(jí)（皮安級(jí)）微弱電流與μΩ級(jí)（微歐級(jí)）電阻測(cè)量
多通道拓展：標(biāo)配4探針臂（可擴(kuò)展至6探針臂），支持四線法、射頻探針、光電協(xié)同測(cè)試
腔體
樣品臺(tái)尺寸：2英寸  4英寸  6英寸
樣品固定：彈簧壓片
觀察窗口：2英寸  4英寸  6英寸
真空度：10??torr
顯微鏡
X-Y-Z移動(dòng)行程：50mm×25mm×13mm
結(jié)構(gòu)：外置探針臂，真空波紋管結(jié)構(gòu)
移動(dòng)精度：10μm / 1μm
光源：外置LED環(huán)形光源/同軸光源
CCD：200萬(wàn)像素/ 500萬(wàn)像素/ 1200萬(wàn)像素
公司介紹
Beijing Hua Ce Testing Instrument Co., Ltd. is a national high-tech enterprise, abbreviated as Hua Ce Instrument.    It is a company engaged in research and development, production and manufacturing.    The company has a functional materials electrical laboratory and an electrical insulation materials electrical laboratory.
The products involve material testing instruments, signal amplification and conditioning, data acquisition and control, comprehensive performance evaluation of sensors, etc.

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